一种根据立体结构铁芯的微型磁通门传感器的制作方法

  本发明公开了一种微型磁通门传感器，选用三层立体结构铁芯，铁芯上层和铁芯基层为矩形，铁芯中间层为阵列柱结构衔接上基层；鼓励线为多条直线段首尾相连组成的折线形结构，在铁芯中间层的阵列柱结构中绕行；感应线圈为三维螺线管结构笔直铁芯长边环绕，三维螺线管线圈上基层之间的连通部分由一个衔接导体组成；骨架运用硅片作为基作，用于承载铁芯、鼓励线、感应线圈、焊盘；鼓励线和感应线圈均由设置在传感器两头的焊盘引出。该微型磁通门的鼓励线布设在立体铁芯中间层的阵列柱之间，一起又夹在铁芯上层和铁芯基层之间，被三层立体铁芯所包裹，有利于促进铁芯全体的均匀饱满，下降鼓励电流；感应线圈选用三维螺线管结构确保了磁场耦合的严密，下降了漏磁，提高了鼓励电流的功率，能大大下降微型磁通门的功耗。